VOCs催化燃燒設備進行有效收集后，進行預處理，再進入活性炭吸附裝置，氣體在活性炭床層保持停留時間，氣體中的VOCs被吸附在活性炭表面，潔凈氣體從活性炭床層排出后可以直接通過引風機排空，經過RCO處理后的潔凈氣體通過熱交換到溫度后作為脫附風，通過活性碳床進行脫附，從活性炭吸附裝置脫附出來的濃縮有機物進入RCO裝置后通過貴金屬催化劑燃燒分解，分解溫度在200-250℃，有機廢氣被分解成二氧化碳和水，以此循環，待廢氣脫附分解完成后排入煙筒后達標排放。

 VOCs催化燃燒設備主要利用催化劑將需要處理的廢氣當中的可以燃燒的物質，在一種較低溫的情況下進行氧化以及分解的一種方法。在整個催化凈化過程中，催化劑扮演的角色是用來降低化學反應的活化能，從而使反應條件更有利于可以控制的目的。 借助催化劑的作用可以有效地使廢氣在較低的溫度條件下進行起燃，從而發生無焰燃燒，然后凈其氧化分解為無害的二氧化碳和水，并釋放出大量的熱能，這樣可以達到去除廢氣當中的有害物質的，凈化廢氣。

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